EQS-News: SUSS erweitert Fotomasken-Portfolio mit dem neuen Mid-End Cleaner ASC9500

  
SUSS erweitert Fotomasken-Portfolio mit dem neuen Mid-End Cleaner ASC9500
 

• Strategischer Ausbau des Photomask-Solutions-Portfolios für die Anforderungen der Halbleiterfertigung auf etablierten Technologieknoten
• Neue, erweiterbare Cleaner-Generation auf Basis einer grundlegend erneuerten Plattformarchitektur
• Je nach Konfiguration unterstützt der ASC9500 Technologieknoten zwischen 38 und 90 Nanometern
• Säurefreie In-situ-UV-Reinigung reduziert Chemikalienverbrauch und Betriebskosten
• Für den ASC9500 liegen bereits konkrete Kundenanfragen vor; die Fertigung des Systems hat begonnen

Garching, 9. November 2026 – Die SUSS MicroTec SE (MDAX/TecDAX: SMHN), ein führender Anbieter von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie, stellt heute das Fotomasken-Reinigungssystem ASC9500 vor. Mit dem neuen System macht SUSS bewährte Reinigungstechnologien der Fotomaskenfertigung für etablierte Technologieknoten verfügbar. Der ASC9500 verbindet eine hohe Produktionsleistung mit der Flexibilität, vielfältige und sich wandelnde Prozessanforderungen zu erfüllen. Die bedarfsgerecht erweiterbare ASC9500-Plattform stärkt das Portfolio von SUSS für die Fotomaskenreinigung und erweitert den adressierbaren Markt.

Wachsende Nachfrage nach leistungsstarken Fotomaskenlösungen für etablierte Technologieknoten

Die Nachfrage nach Halbleitern auf Basis etablierter Technologieknoten bleibt hoch. Diese bewährten Fertigungsprozesse sind zuverlässig, breit verfügbar und wirtschaftlich attraktiv. Sie bleiben ein wesentlicher Bestandteil zahlreicher Anwendungen, beispielsweise im Automobilbereich, in der Industrieelektronik, bei Leistungshalbleitern und im Advanced Packaging. Angetrieben von KI, zunehmend komplexeren Halbleiterbauelementen und heterogener Integration, wird die Halbleiterfertigung vielfältiger. Diese Entwicklung schafft Bedarf nicht nur an Spitzentechnologien, sondern auch an mehr Fertigungskapazität und größerer Prozessflexibilität bei etablierten Technologieknoten. Mit steigenden Produktionsmengen wächst auch die Nachfrage nach Fotomasken sowie den dafür erforderlichen Prozesslösungen. Da Fotomasken im Fertigungsprozess wiederholt eingesetzt werden, spielt ihre Reinigung eine entscheidende Rolle für Ausbeute, Prozessstabilität und Produktionseffizienz. Dabei steigen die Anforderungen an Reinigungsleistung, Wirtschaftlichkeit und Kosteneffizienz kontinuierlich.

Neue, erweiterbare Plattformgeneration für wachsende Kundenanforderungen

Aufbauend auf dem bewährten Reinigungssystem ASC5500, hebt der ASC9500 die Fotomaskenreinigung von SUSS auf ein neues Level. Die Plattform wurde grundlegend überarbeitet und bietet eine erweiterbare Architektur, die darauf ausgelegt ist, künftige Kundenanforderungen zu unterstützen. Sie integriert fortschrittliche Funktionen, die bislang ausschließlich in den High-End-Reinigungssystemen des Unternehmens verfügbar waren. Gleichzeitig bietet der ASC9500 Anwendern der manuellen HMx-Reinigungssysteme von SUSS eine technologisch weiterentwickelte Alternative. Je nach Konfiguration deckt der ASC9500 Technologieknoten zwischen 38 und 90 Nanometern ab. Sein erweiterbares Design ermöglicht es Kunden, das System an veränderte Prozessanforderungen anzupassen und dabei kosteneffizient zu arbeiten.

Nachhaltiger und kosteneffizienter Betrieb

Ein wesentliches Differenzierungsmerkmal des ASC9500 ist die integrierte säurefreie In-situ-UV-Reinigungstechnologie. Sie reduziert den Verbrauch von Prozesschemikalien deutlich und senkt damit die Betriebskosten. Gleichzeitig unterstützt sie die Nachhaltigkeitsziele der Kunden. Das Ergebnis ist eine hocheffiziente Reinigungslösung, die hohe Prozessperformance mit einem geringeren ökologischen Fußabdruck verbindet.

Kundeninteresse und Marktpotenzial bereits bestätigt

SUSS verzeichnet bereits konkrete Anfragen mehrerer Kunden und hat mit der Fertigung des ASC9500 begonnen. Mit der Einführung des ASC9500 erschließt SUSS zusätzliche Anwendungsbereiche in der Halbleiterfertigung und baut dabei auf die technologische Expertise, die das Unternehmen als Marktführer bei Reinigungslösungen für anspruchsvollste Fotomaskenanwendungen aufgebaut hat. Durch die Übertragung bewährter High-End-Technologien auf ein breiteres Kundensegment adressiert SUSS ein attraktives Marktpotenzial und ermöglicht hohe Reinigungsleistung bei wettbewerbsfähigen Betriebskosten.

„Der Halbleitermarkt wird immer vielfältiger, und die Fertigung bei etablierten Technologieknoten erfordert sowohl größere Produktionskapazität als auch mehr Prozessflexibilität. Mit dem ASC9500 erneuern wir eine bewährte Reinigungsplattform und führen eine erweiterbare Lösung ein, die unsere Kunden auch dann noch einsetzen können, wenn sich ihre Anforderungen ändern oder weiterentwickeln. Das neue System wurde bereits von mehreren Kunden nachgefragt, sodass wir mit der Fertigung begonnen haben. Der ASC9500 untermauert unseren Anspruch, ein breites Spektrum an Fotomasken-Anwendungen zu unterstützen, und stärkt unsere Position im Markt für Fotomaskenreinigung“, sagt Yuta Nagai, Senior Vice President Photomask Solutions bei SUSS.

ASx9500-Plattform für die ganzheitliche Fotomaskenbearbeitung

Gemeinsam mit dem Post-Exposure-Bake-System APB9500, das bereits weltweit in der Herstellung fotolithografischer Masken eingesetzt wird, erweitert der ASC9500 die ASx9500-Plattform zu einem umfassenden Lösungsangebot für die Fotomaskenbearbeitung. Als weltweiter Marktführer bei Reinigungslösungen für die fortschrittlichsten Technologieknoten der Halbleiterindustrie überträgt SUSS seine Expertise nun mit einer passgenauen Lösung auf zusätzliche Anwendungsbereiche in der Halbleiterfertigung.

Weitere Informationen zum ASC9500, der ab sofort erhältlich ist, finden Sie unter:

https://www.suss.com/de/produkte-loesungen/fotomaskenloesungen/fotomaskenreinigung/asc9500

Treffen Sie SUSS auf der SEMICON Europa

Buchen Sie einen Termin mit unseren Experten auf der SEMICON Europa, wenn Sie mehr über den neuen ASC9500 erfahren möchten:

suss.com/de/veranstaltungen/semicon-europa

 

Kontakt:
Sabrina Müller
Vice President Investor Relations & Communications
E-Mail: sabrina.mueller@suss.com
Tel.: +49 160 94989008

Über SUSS

SUSS ist ein weltweit führender Anbieter von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie. Mit einem klaren Fokus auf Spitzentechnologie und Präzision machen wir die Herstellung von Mikrochips und Halbleitern der nächsten Generation möglich und treiben die Digitalisierung kontinuierlich voran. Unsere Lösungen entstehen in enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern. Wir leisten einen wesentlichen Beitrag zur Weiterentwicklung von Hochleistungsrechnern und künstlicher Intelligenz und prägen die Zukunft intelligenter Geräte und Anwendungen.

Unser Hauptsitz befindet sich in Garching bei München. SUSS beschäftigt weltweit rund 1.500 Mitarbeiter und hat zuletzt einen Umsatz von rund 500 Millionen Euro erwirtschaftet. Wir betreiben Produktionsstandorte in Deutschland und Taiwan sowie Forschungszentren in Europa, Asien und den USA. Hinzu kommt ein starkes Netzwerk aus kundennahen Vertriebs- und Serviceniederlassungen. Die SUSS MicroTec SE ist an der Deutschen Börse in Frankfurt im Prime Standard notiert (FWB: SMHN; ISIN DE000A1K0235) und gehört den Aktienindizes TecDAX und MDAX an. Weitere Informationen finden Sie unter www.suss.com.

 

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